1.真空度測量范圍: 9.999×10-1~1×10-5
2.離子電流測量范圍: 9.999×10-1~1×10-7
3.測量誤差: <10%
4.測量分(fen)辨率: 10-5pa
5.允許(xu)環境(jing)溫度: -20℃~50℃
6.空氣濕度: ≤80%RH
7.電源: AC,220V,50Hz±10%
8.外(wai)型尺(chi)寸: 420×290×210(mm)
9.高壓輸(shu)出: 脈沖30kV15kHz
⒑重量(liang): 8kg